分光計器株式会社
分光照射装置
各種光源＋分光器＋照射系を組み合わせて、さまざまな分光照射が可能です。
特注対応にも対応致します。
光強度、波長などご希望に合った光を提供致します。
◇１０×１０ｍｍ 面照射タイプ
| ＳＭ−２５ ハイパーモノライト カタログ（ＰＤＦ） | ||
|---|---|---|
|
|
特 徴 | 高出力・高均一性単色光照射 |
| 仕 様 | 光源 Xeランプ
照射波長範囲 300～1150nm 波長純度 24nm(可変） 照射強度（最大） 5mW/ｃｍ2(＠470nm) 面内均一性 ±5％ | |
◇光ファイバー照射タイプ
|
ＳＭ－５ 超モノクロ光源 カタログ（ＰＤＦ） | ||
|---|---|---|
|
|
特 徴 |
高輝度Xe ランプ、収差補正分光器、 無収差光学系を組み合わせて、 強力モノクロ光を実現しました。 |
| 仕 様 |
光源 Xeランプ 照射波長範囲 250～1200nm 波長純度 20nm 照射強度（最大） 8mW（1.2mmΦ ＠470nm) 出射光 ファイバ光 | |
◇多波長同時照射タイプ
|
ＭＭ－３ 多波長照射分光器 | ||
|---|---|---|
|
|
特 徴 |
220～520nm または400～700nmの光を 10分割し、それぞれの波長を11個のセルに 最高15mWと高エネルギー同時照射が 行えます。 |
|
仕 様 |
光源 Xeランプ 照射波長範囲 220～700nm 照射強度（最大） 15mW 出射光 130×10mm（400～700nm) | |
◇露光照射タイプ
|
ＩＵＶ－２５ＣＰ フォトレジスト用分光照射ユニット※各種、特別仕様に対応いたします。 | ||
|---|---|---|
|
|
特 徴 |
フォトレジスト材など感光性材料に 波長幅約240nmを持った連続光を 任意時間照射することができます。 |
| 仕 様 |
光源 Xeランプ DeepUVランプ 照射波長範囲 230～800nm
出射光 80×5mm（約240nm)
| |
