真空紫外測定

 

分光計器では会社設立の1977年から瀬谷波岡型分光器を主体とした様々な真空紫外分光システムを製作してきました。

新たに開発したKVシリーズは特殊光学素子と新開発の光学配置の分光器により、真空ポンプなどが不要となり、窒素ガスのパージだけで120nmまで測定が出来るシステムです。

KVシリーズラインナップ

型 式

名 称

KV-201AD

極紫外分光システム

KV-201

極紫外分光システム

KV-200

極紫外モノクロメータ

KVP-200

極紫外マルチチャン

ネル分光システム

写真

タイプ

セミダブルビーム方式

自動回転ステージ 

セミダブルビーム方式

手動ステージ

モノクロメータ

ポリクロメータ

 波長範囲

120~300nm 

120~300nm

120~300nm

120~300nm

 分 解

 1~4nm

1~4nm

0.1~4nm

0.1nm

 モード

 透過

透過

発光・照射

発光

 サンプル

固体

固体・液体・気体

光源・発光体

光源・発光体

 形 状

φ30mm、t1mm

11個

φ30mm、t1~10mm

2個

 ステージ

12連自動ステージ

3連手動ステージ

構 成

本体+自動ステージ

+制御電気系+データ処理

本体+自動ステージ

+制御電気系+データ処理

分光器

分光器+CCD(MgF2窓)

+データ処理

 大きさ

フロアタイプ

デスクトップ

デスクトップ

デスクトップ

別途サンプルホルダが必要

 


KV-200  極紫外分光器

 

  • 波長120~300nm(真空紫外領域)のさまざまな分光用途に最適です。
  • 窒素パージ型分光器採用で、高分解&高安定を実現しました。
  • サインバー機構・波長リニア走査により波長カウンタを搭載しています。

 


KV-202 卓上型真空紫外分光光度計

 

  • 波長120~300nm(真空紫外領域)の透過スペクトル測定ができます。
  • 窒素パージ型分光器採用で、高分解&高安定を実現しました。
  • 特殊フィルムや特殊基板などの評価に最適です。

 


 

測定例

 

食品包装フィルムの透過率測定例

厚さ10μm程のフィルムを測定しました。

ポリマーなどの薄いサンプルも容易に測定できます。

汎用の可視紫外分光光度計では測定が困難な紫外領域から真空紫外領域まで連続して測定ができます。

Green:ポリエチレン

Pink:ポリ塩化ビニル

Blue:ポリ塩化ビニリデン

フッ化カルシウム(CaF2)の透過率測定例

光学結晶やレジストの評価に使用するフッ化カルシウム(CaF2)を測定しました。

F2レーザやArFレーザの波長領域を再現性良く測定できています。

 


空気(O2)の高分解測定例

空気を分解0.1nmで測定しました。

空気に含まれる酸素のSchumann-Runge吸収帯にある細かい構造もはっきりと測定できています。

 

光路長 100mm

厚みのある合成石英(SiO2)の測定例

厚みが1mmと40mmの合成石英(SiO2)を測定しました。厚みの違いによる透過率の違いが弊社独自の光学系により正確に測定できています。

Green:合成石英 (t = 40mm)

Blue:合成石英 (t = 10mm)