真空紫外測定
分光計器では会社設立の１９７７年から瀬谷波岡型分光器を主体とした様々な真空紫外分光システムを製作してきました。
新たに開発したＫＶシリーズは特殊光学素子と新開発の光学配置の分光器により、真空ポンプなどが不要となり、窒素ガスのパージだけで１２０ｎｍまで測定が出来るシステムです。
ＫＶシリーズラインナップ
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型 式 名 称 |
ＫＶ－２０１ＡＤ 極紫外分光システム |
ＫＶ－２０１ 極紫外分光システム |
ＫＶ－２００ 極紫外モノクロメータ |
ＫＶＰ－２００ 極紫外マルチチャン ネル分光システム |
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写真 |
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タイプ |
セミダブルビーム方式 自動回転ステージ |
セミダブルビーム方式 手動ステージ |
モノクロメータ |
ポリクロメータ |
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波長範囲 |
１２０～３００ｎｍ |
１２０～３００ｎｍ |
１２０～３００ｎｍ |
１２０～３００ｎｍ |
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分 解 |
１～４ｎｍ |
１～４ｎｍ |
０．１～４ｎｍ |
０．１ｎｍ |
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モード |
透過 |
透過 |
発光・照射 |
発光 |
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サンプル |
固体 |
固体・液体＊・気体＊ |
光源・発光体 |
光源・発光体 |
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形 状 |
φ３０ｍｍ、ｔ１ｍｍ １１個 |
φ３０ｍｍ、ｔ１～１０ｍｍ ２個 |
－ |
－ |
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ステージ |
１２連自動ステージ |
３連手動ステージ |
－ |
－ |
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構 成 |
本体＋自動ステージ ＋制御電気系＋データ処理 |
本体＋自動ステージ ＋制御電気系＋データ処理 |
分光器 |
分光器＋ＣＣＤ（MgF2窓） ＋データ処理 |
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大きさ |
フロアタイプ |
デスクトップ |
デスクトップ |
デスクトップ |
＊別途サンプルホルダが必要
KV-200 極紫外分光器
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波長120～300nm(真空紫外領域）のさまざまな分光用途に最適です。
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窒素パージ型分光器採用で、高分解＆高安定を実現しました。
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サインバー機構・波長リニア走査により波長カウンタを搭載しています。
KV-202 卓上型真空紫外分光光度計
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波長120～300nm（真空紫外領域）の透過スペクトル測定ができます。
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窒素パージ型分光器採用で、高分解＆高安定を実現しました。
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特殊フィルムや特殊基板などの評価に最適です。
ATR-FUV 遠紫外分光装置
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波長145～300nm（真空紫外領域）での液体の透過スペクトル測定ができます。
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窒素パージ型分光器採用で、高分解＆高安定を実現しました。
測定例
食品包装フィルムの透過率測定例
厚さ１０μｍ程のフィルムを測定しました。 ポリマーなどの薄いサンプルも容易に測定できます。 汎用の可視紫外分光光度計では測定が困難な紫外領域から真空紫外領域まで連続して測定ができます。 Green：ポリエチレン Pink：ポリ塩化ビニル Blue：ポリ塩化ビニリデン |
フッ化カルシウム（CaF2）の透過率測定例
光学結晶やレジストの評価に使用するフッ化カルシウム（CaF2）を測定しました。 F2レーザやArFレーザの波長領域を再現性良く測定できています。
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空気（O2）の高分解測定例
空気を分解０．１ｎｍで測定しました。 空気に含まれる酸素のSchumann-Runge吸収帯にある細かい構造もはっきりと測定できています。
光路長 １００ｍｍ |
厚みのある合成石英（SiO2）の測定例
厚みが１ｍｍと４０ｍｍの合成石英（SiO2）を測定しました。厚みの違いによる透過率の違いが弊社独自の光学系により正確に測定できています。 Green：合成石英 （t = 40mm) Blue：合成石英 （t = 10mm) |
