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IUV-25CP  フォトレジスト用分光照射ユニット

フォトレジスト剤など感光材料に波長幅(約240nm)をもった単色光を任意時間する分光装置です。
光源には、強力なラインスペクトル光が照射可能なDeepUVランプと連続スペクトル光が照射可能なXeランプの2種類を標準搭載しています。
自動ステージ上で試料がステップ移動し、照射時間を変えながら、照射出来ます。

 カタログ(PDF)

 

特長

 

  • フォトレジスト材など感光性材料に波長幅約240nmを持った連続光を任意時間照射することができます。

 

  • 光源 : Xeランプ DeepUVランプ

 

  • 照射波長範囲 : 230~800nm

 

  • 照射光面積 : 80×5mm

 

 

照射イメージ

 

ホルダ(2種類)

 

 

 

ソフトウェア

  • 開始(条件)…照射時間の最初の秒数を入力します(0.01~1200)
  • 終了…照射時間の最後の秒数を入力します(0.01~1200)
  • 分割数…開始から終了の間を分割する数値を入力します(2~13)
  • 分割方法…LinearもしくはLogから選択します
  • 計算…照射条件画面を閉じ、メインメニューに戻ります
  • 閉じる・・・照射条件画面を閉じ、メインメニューに戻ります
  • 手動…シャッタ状態、ステージ位置を任意に設定します
  • 開始(全体)・・・設定された条件で照射を開始します

 

 

仕様

 

 照射波長範囲  一度に照射できる波長幅 約240nm
 光照射面積  長距離移動型 高さ方向:89mm(5×13段、照射帯間スペース2mm)
          波長方向:約80mm(約240nm)
 照射時間  0.01~1200sec
 設定最小時間  0.01sec
 照射段数  1~13段
 照射分割方向  Linear / logから選択
 光源

 DeepUVランプ500W・Xeランプ500W

 光源切換  ミラーによる手動切換
 試料ホルダ  □100mm、□127mmガラス板用(交換式)

 

 

標準構成

 

●DeepUVランプ500W
●DeepUVランプホルダ(空冷式)
●DeepUVランプ電源
●Xeランプ500W
●Xeランプホルダ(空冷式)
●Xeランプ電源
●光源集光光学系(2光路手動切換)
●シャッタ自動機構
●M25-CP モノクロメータ(上部取り出しタイプ)
●回折格子1200本/300nmブレーズ(MgF2コート)
●試料室(自動ステージ)
●試料ホルダ□100mmガラス用
●試料ホルダ□127mmガラス用
●基準検知器(検定書付シリコンフォトダイオード)
●基準検知器信号用電流計(エレクトロメーター)
●ステージコントローラ
●シャッタコントローラ
●ノートPC
●専用ソフトウェア
●取扱説明書


 

 

外形寸法

 

●本体     :約W1000×D650×H470mm
        *ランプ電源・コントローラ・エレクトロメータ-別途

 


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