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KV-202GDD 真空紫外分光照射システム（低迷光タイプ）
真空紫外域から紫外域（波長120～400nm）の単色光照射が可能なシステムです。
UPSやXPSなどの装置に接続し、サンプルに真空紫外光を照射する事が可能です。
低迷光を重視した零分散ダブルモノクロメータを採用し、各波長毎の照射光量を確保するため、複数の回折格子をラインナップし、高効率な単色光照射が可能です。
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| カタログ（PDF） |  |
特長
- 波長120～400nm（10.3～3.1eV）の真空紫外単色光照射が可能です。
- UPSやXPSなどに接続対応可能です。
装置光量データ
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| 真空紫外域から紫外域（波長120～300nm)を1nm間隔で測定した光量データです。一般的な照射装置では不可能な波長200nm以下（120～200nm)も強力な単色光照射が出来ている事がわかります。 |
装置構成図
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①H2D2光源 ②光源集光光学系 ③分光器部 ④照射光学系 ⑤ICF114-NW50変換フランジ ⑥MgF2ビューポート（ICF114) ⑦全体架台 |
仕様
| 光源 | 高輝度・高性能重水素ランプ（H2D2ランプ） |
| 光学系式 | 零分散ダブル 収差補正クロス型ツェルニターナ配置 |
| 焦点距離 | 200mm |
| 口径比 | F=5.8 |
| 回折格子 | 1200本/150nmブレーズ（MgF2コート）2式 交換可能構造 |
| 光学的波長範囲 | 120～400nm |
| 機械的波長範囲 | 0～650nm |
| 分解能 | 0.2nm(半値幅） |
| 波長走査方式 | サインバー機構・波長リニア走査 |
| 波長精度 | ±0.2nm（長波長側より設定） |
| 波長表示 | カウンタ表示 最小1nm、最小目盛0.2nm |
| 波長再現性 |
±0.2nm（長波長側より設定） |
| 照射光の大きさ | 1×1mm |
| 照射角度 | 20° |
| 照射焦点距離 | 203mm（窓フランジ部より） |
| チャンバ接続窓 | ICF114 MgF2ビューポートフランジ |
| 総合コントローラ | 波長駆動（波長リニア）・フィルタ切換・GP-IB外部制御可能 |
標準構成
●高輝度・高性能重水素ランプ（H2D2ランプ）
●重水素ランプ電源
●重水素ランプ用ホルダ
●光源集光系
●零分散ダブル真空紫外域分光器
●回折格子1200本/150nmブレーズ（MgF2コートタイプ）2枚
●各種高次光カットフィルタ及びシャッタ
●折返し光学ユニット
●照射光学系
●チャンバ接続部
●ICF114 MgF2ビューポートフランジ
●総合コントローラ（波長駆動・フィルタ切換）
●全体架台
オプション品
●光量モニター検知器
●各種回折格子
●各種高次光カットフィルタ
●各種照射光学系【ご希望の照射角度・照射距離・接続フランジに対応】
外形寸法
●本体：約W660×D460×H500mm＊突起部を除く
●電源：AC100V 2A
●窒素：純度99.999%以上を推奨
導入圧力：0.2MPa(2Kgf/cm2）
窒素IN継手：Swegelok1/4 1箇所
窒素OUT継手：Swegelok3/8 1箇所
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