真空紫外測定

　分光計器では会社設立の1977年から瀬谷波岡型分光器を主体とした様々な真空紫外分光システムを製作してきました。

新たに開発したKVシリーズは特殊光学素子と新開発の光学配置の分光器により、真空ポンプなどが不要となり、窒素ガスのパージだけで120nmまで測定が出来るシステムです。

 

 

KV-200　極紫外分光器
  • 波長120～300nm(真空紫外領域）のさまざまな分光用途に最適
  • 窒素パージ型分光器採用で、高分解＆高安定を実現
  • サインバー機構・波長リニア走査により波長カウンタを搭載

 

KV-202　卓上型真空紫外分光光度計
  • 波長120～300nm（真空紫外領域）の透過スペクトル測定可能
  • 窒素パージ型分光器採用で、高分解＆高安定を実現
  • 特殊フィルムや特殊基板などの評価に最適

 

ATR-FUV   遠紫外分光装置

  • 波長145～300nm（真空紫外領域）での液体の透過スペクトル測定が可能
  • 窒素パージ型分光器採用で、高分解＆高安定を実現

 

KV-202GDD　真空紫外分光照射システム
  • 波長120～400nm（10.3～3.1eV）の真空紫外単色光照射が可能
  • UPSやXPSなどに接続対応可能

 

真空紫外測定装置 測定例

 

食品包装フィルムの透過率測定例

厚さ10μｍ程のフィルムを測定しました。

ポリマーなどの薄いサンプルも容易に測定できます。

汎用の可視紫外分光光度計では測定が困難な紫外領域から真空紫外領域まで連続して測定ができます。

Green：ポリエチレン

Pink：ポリ塩化ビニル

Blue：ポリ塩化ビニリデン

フッ化カルシウム（CaF2）の透過率測定例

光学結晶やレジストの評価に使用するフッ化カルシウム（CaF2）を測定しました。

F2レーザやArFレーザの波長領域を再現性良く測定できています。

 

空気（O2）の高分解測定例

空気を分解0.1nmで測定しました。

空気に含まれる酸素のSchumann-Runge吸収帯にある細かい構造もはっきりと測定できています。

 

光路長　100mm

厚みのある合成石英（SiO2）の測定例

厚みが１ｍｍと40mmの合成石英（SiO2）を測定しました。厚みの違いによる透過率の違いが弊社独自の光学系により正確に測定できています。

Green：合成石英　（t =40mm)

Blue：合成石英　（t =10mm)