ハロゲンランプ
ハロゲンランプは、発光体（フィラメント）に、高い効率と、色温度が得られるよう、高融点のタングステンを使用し、またバルブ内には、高温度においてもフィラメントを腐食させることのない不活性ガスと微量のハロゲン化物を封入したもので、有効波長は350～2500nmです。
キセノンランプ
キセノンランプはアーク発光を利用した放電光源で、可視領域でのスペクトルが昼光のそれに非常によく似ており、色温度約6000Kのもっとも太陽に近い発光スペクトルをもつ高輝度の点光源です。
300～800nmへかけて強い連続スペクトルがあり、800nn以上の強い輝線があります。
重水素ランプ（D2ランプ）
重水素(D2）ランプは重水素ガスのアーク発光を利用した放電光源で、紫外用連続スペクトル光源として使われています。
真空紫外(115～400nm）ではMgF2を、紫外(200～400nm)では石英を窓材とします。
しかし欠点として、ランプから出射される光の放射強度が小さいことや、経時変化が大きいことがあげられます。
水銀ランプ
水銀ランプは水銀蒸気の放電発光を利用するランプです。
高圧（中圧）、低圧および超高圧の水銀ランプがあります。高圧水銀ランプは中圧水銀ランプともよばれ、二重管構造のものが多く、水銀蒸気圧は10５～10６Paで、幅広い紫外線領域の線スペクトルをもっています。
低圧水銀ランプは分光器の波長の校正などに用いられます。1～10Paの水銀蒸気圧があり、水銀の共鳴線である184.9nmと253.7nmが強力に放射される線スペクトル光源です。
超高圧水銀ランプは蒸気圧10６Pa以上（2×10６Pa以上のものが多い）となる水銀を封入した水銀ランプで長寿命で安定した放射強度をもち、高輝度で紫外線量も多いことが特徴です。
水銀のおもなスペクトル線の波長
波長（nm)
| 253.652 | 407.781 |
| 275.278 | 434.750 |
| 296.728 | 435.835 |
| 302.150 | 546.074 |
| 312.566 | 576.959 |
| 365.015 | 690.716 |
| 404.656 | 1013.980 |
水銀キセノン（Deep UV）ランプ
水銀キセノンランプは、紫外領域で特に高いエネルギーを得るようにした特殊なランプで、水銀とキセノンガスを混合封入したものです。
その特性はキセノンランプと超高圧水銀ランプの両者の特徴を合わせ持ったもので、そのスペクトル分布はキセノンガスによる紫外から赤外にわたる連続スペクトルと紫外から可視にわたる強い水銀輝線スペクトル群を有します。
特に超高圧水銀ランプと比べ紫外領域におけるスペクトル強度が高く、スペクトル幅がシャープな点が特徴です。
