測定法

タイムオブフライト法（TOF法）

有機EL材料や有機太陽電池材料などの試料にレーザ光を照射し、発生したキャリアが薄膜内をドリフトする移動度等を高速に測定します。

特長

• 薄膜評価における電子やホールの移動度を測定出来ます。
• 時間分解10ｎ秒を達成。
• 10^－6～10^－３ｃｍ^２／Ｖ．ｓｅｃの移動度測定が行えます。
• オプションでFET法による移動度測定が行えるユニットも可能です。

測定データ（例）

データの詳細は北海道大学高橋先生が第66回応用物理学会11A-Vにて発表

仕様

測定移動度範囲	約10-6～10-3cm2/V･s程度　*
測定膜厚範囲	約1～数十μm　*
測定時間分解能	約10ns
レーザー波長	355nm
レーザー出力	>70μJ
パルス幅	0.9～1.3ns
光ファイバー	単芯コア600μm　長さ5m
NDフィルター	0.1%・1%・10%・50%
試料室	試料ステージ（XYZ機構付）・試料電極プローブ・観察モニタ
試料温度	室温
励起光モニター	PINフォトダイオード
負荷抵抗	50Ω～100kΩ　5段階切換
オシロスコープ	周波数帯域300MHz　サンプリングレート2.5GS/s
バイアス電圧	0～±200V
ソフトウェア	レーザ制御・データ取り込み・データ解析・移動度算出

*測定可能な移動度と膜厚の値は目安です。試料の信号強度などにより範囲内でも測定出来ない場合があります。

標準構成

• YAGレーザー（355nm)
• レーザー光導入光学系
• 光ファイバコア600μm　長さ5m
• NDフィルター　0.1%･1%･10%･50％
• 試料室
• 試料ステージ（手動XYZ軸）
• 試料電極プローブ
• 観察モニタ
• 励起光モニター
• 負荷抵抗
• オシロスコープ
• バイアス電源
• 全体架台
• ソフトウェア
• GPIB-USBケーブル
• GPIBケーブル
• 制御コンピュータ　ノートPC 　
• 取扱説明書

オプション

• 色素レーザー（波長400～900nm)
• 試料温調ステージ
• FET測定ユニット

外形寸法

• 本体：約W2000×Ｄ800×H1560mm
• 電源：AC100V　50/60Hz　20A
• 重量：約150kg

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