KV-202GDD　真空紫外分光照射システム

真空紫外域から紫外域（波長120～400nm）の単色光照射が可能なシステムです。
UPSやXPSなどの装置に接続し、サンプルに真空紫外光を照射する事が可能です。
低迷光を重視した零分散ダブルモノクロメータを採用し、各波長毎の照射光量を確保するため、複数の回折格子をラインナップし、高効率な単色光照射が可能です。

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KV-202GDD　真空紫外分光照射システム（低迷光タイプ）　〉　

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特長

波長120～400nm（10.3～3.1eV）の真空紫外単色光照射が可能です。
UPSやXPSなどに接続対応可能です。

装置光量データ

真空紫外域から紫外域（波長120～300nm)を1nm間隔で測定した光量データです。一般的な照射装置では不可能な波長200nm以下（120～200nm)も強力な単色光照射が出来ている事がわかります。

装置構成図

H2D2光源
光源集光光学系
分光器部
照射光学系
ICF114-NW50変換フランジ
MgF2ビューポート（ICF114)
全体架台

仕様

光源	高輝度・高性能重水素ランプ（H2D2ランプ）
光学系式	零分散ダブル　収差補正クロス型ツェルニターナ配置
焦点距離	200mm
口径比	F=5.8
回折格子	1200本/150nmブレーズ（MgF2コート）2式　交換可能構造
光学的波長範囲	120～400nm
機械的波長範囲	0～650nm
分解能	0.2nm(半値幅）
波長走査方式	サインバー機構・波長リニア走査
波長精度	±0.2nm（長波長側より設定）
波長表示	カウンタ表示　最小1nm、最小目盛0.2nm
波長再現性	±0.2nm（長波長側より設定）
照射光の大きさ	1×1mm
照射角度	20°
照射焦点距離	203mm（窓フランジ部より）
チャンバ接続窓	ICF114　MgF2 ビューポートフランジ
総合コントローラ	波長駆動（波長リニア）・フィルタ切換・GP-IB外部制御可能